JEOL: Lanzamiento de las versiones (i)/(is) del microscopio electrónico de barrido de emisión de campo tipo Schottky JSM-IT800

JEOL Ltd. (TOKYO:6951) (Presidente y director de operaciones: Izumi Oi) anunció que ha desarrollado versiones semidentro del lente (i)/(is) que son óptimas para la observación de dispositivos semiconductores del microscopio electrónico de barrido de emisión de campo tipo Schottky JSM-IT800 (presentado en mayo de 2020) y comenzó a venderlas en agosto de 2021.

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JSM-IT800 (is) (Photo: Business Wire)

Fundamentos del desarrollo

Los microscopios electrónicos de barrido (scanning electron microscope, SEM) se utilizan en una amplia gama de campos, tales como nanotecnología, metales, semiconductores, cerámica, medicina y biología. A medida que se expanden las aplicaciones de los SEM no solo para abarcar la investigación y el desarrollo, sino también para abordar el control de calidad y la inspección de productos en fábricas, los usuarios de SEM necesitan una rápida adquisición de datos de alta calidad y una confirmación simple de la información de composición con una operación analítica perfecta.

Para satisfacer estos requisitos, el JSM-IT800 incorpora nuestro cañón electrónico de emisión de campo tipo Schottky Plus dentro del lente para obtener imágenes de alta resolución y el innovador sistema de control óptico electrónico “motor NEO”, además del sistema de interfaz gráfica de usuario “centro SEM” para un mapeo elemental con un espectrómetro de rayos X por energía dispersiva (energy dispersive X-ray spectrometer, EDS) de JEOL completamente integrado, como una plataforma común. Además, el JSM-IT800 permite el reemplazo de los lentes objetivos del SEM como un módulo, lo que ofrece diferentes versiones para satisfacer diversos requisitos de los usuarios.

El JSM-IT800 está disponible en cinco versiones con diferentes lentes objetivos: una versión de lente híbrido (Hybrid Lens, HL), que es un FE-SEM de uso general; una versión de lente suprehíbrido (Super-Hybrid Lens, SHL) (SHL/SHLs, dos versiones con diferentes funciones), que permite una observación y un análisis de alta resolución, y la versión semidentro del lente (i/is, dos versiones con diferentes funciones), desarrollada recientemente y apta para la observación de dispositivos semiconductores.

El JSM-IT800 también puede estar equipado con un nuevo detector electrónico retrodispersado de centelleo (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED). El SBED permite una fácil observación de imágenes en vivo con alta capacidad de respuesta y produce un contraste material más agudo, aún a una baja tensión de aceleración.

Características

1. Cañón electrónico de emisión de campo tipo Schottky Plus dentro del lente

Mejor integración del cañón electrónico y lentes condensadores de baja aberración que ofrecen más luminosidad. Una abundante corriente del sensor disponible con tensiones bajas de aceleración (100 nA a 5 kV). El sistema único tipo Schottky Plus dentro del lente permite una variedad de aplicaciones, desde imágenes de alta resolución hasta mapeo elemental rápido y análisis de difracción de electrones retrodispersados (electron backscatter diffraction, EBSD).

2. Motor Neo (New Electron Optical Engine, nuevo motor óptico electrónico)

El motor Neo es un sistema óptico electrónico de última tecnología que acumula muchos años de las principales tecnologías que JEOL. Los usuarios pueden realizar una observación estable incluso al cambiar las distintas condiciones analíticas o de observación. Se ha mejorado mucho más la capacidad de funcionamiento automático.

3. Integración centro SEM / EDS

Una interfaz gráfica de usuario “centro SEM” se integra completamente con imágenes SEM y análisis de EDS para proporcionar operaciones perfectas e intuitivas. El JSM-IT800 se puede mejorar incorporando complementos opcionales de software, tales como SMILENAVI para asistir y proporcionar un camino de aprendizaje a los usuarios novatos y el filtro mejorador visual de imágenes en vivo (Live Image Visual Enhancer, LIVE-AI) para adquirir imágenes en vivo de mayor calidad.

4. Versiones semidentro del lente (i/is)

Una versión semidentro del lente alcanza una ultraalta resolución al hacer converger los electrones con la lente de campo magnético fuerte formada debajo de la lente del objetivo. Además, el sistema recopila de manera eficiente los electrones secundarios de baja energía emitidos desde una muestra y detecta los electrones con el detector superior dentro del lente (upper in-lens detector, UID). Por lo tanto, permite la observación de alta resolución y análisis de muestras inclinadas y muestras transversales, que se requieren para un análisis de fallas de dispositivos semiconductores. Además, es muy útil para la observación de contrastes de tensión.

5. Detector electrónico superior (Upper Electron Detector, UED)

Un detector electrónico superior se puede montar arriba del lente objetivo. La ventaja del sistema es la capacidad de adquisición de imágenes electrónicas retrodispersadas y la adquisición de imágenes electrónicas secundarias en combinación con el sesgo de muestras. Los electrones emitidos desde una muestra se seleccionan mediante un filtro de UID dentro del lente objetivo. UED y UIT permiten adquirir mucha información en un solo escaneo.

6. Nuevo detector electrónico retrodispersado

El detector electrónico retrodispersado de centelleo (SBED, opcional) tiene una alta capacidad de respuesta y es adecuado para adquirir imágenes de contraste material a tensiones bajas de aceleración.

Objetivo de ventas

1) JSM-IT800 versión i: 5 unidades/año
2) JSM-IT800 versión is: 40 unidades/año

URL del producto: https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT800.html

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japón
Izumi Oi, presidente y director de operaciones
(Código de acción: 6951, primera sección de la Bolsa de Valores de Tokio)
www.jeol.com

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