JEOL Ltd. (TOKIO:6951) (presidente y director ejecutivo Izumi Oi) anunció su lanzamiento del sistema FIB-SEM “JIB-PS500i” el 1 de febrero de 2023.
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FIB-SEM System "PS500i" (Photo: Business Wire)
Con la estructura más fina de materiales avanzados y creciente complejidad de procesos, las técnicas de evaluación, tales como la observación morfológica y el análisis elemental requieren mayor resolución y precisión. En la preparación de muestras para microscopios electrónicos de transmisión (transmission electron microscopes, TEM) en el sector de semiconductores, así como también en los campos de baterías y materiales, se necesita “mayor precisión” y “muestras más delgadas”.
Este producto es un sistema combinado del sistema FIB (haz iónico focalizado [Focused Ion Beam]) que puede procesar con gran exactitud y del sistema SEM (microscopio electrónico de barrido [scanning electron microscope]) de alta resolución para satisfacer estas necesidades.
Características principales
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La columna FIB permite procesar con un haz iónico de gran corriente Ga hasta 100nA. El proceso de alta corriente es particularmente eficaz al preparar muestras de secciones cruzadas para imágenes y análisis de grandes áreas. Además, la columna FIB está configurada para una distancia de trabajo más corta. Junto con el suministro de energía de reciente desarrollo, ha llevado a mejorar enormemente el desempeño del proceso a una baja tensión de aceleración.
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Un sistema de lentes supercónicas de reciente desarrollo está integrado en la columna SEM, lo que mejora enormemente la resolución de la imagen a una baja tensión de aceleración. Esta imagen magnífica es muy útil para verificar el estatus de trituración final de la muestra de la laminilla que usa el SEM.
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El JIB-PS500i adopta una cámara de muestras grandes y una fase de muestras de reciente desarrollo, lo que aumenta el rango de movimiento de la fase y, por consiguiente, aloja una gran muestra.
Además, un detector de STEM de reciente desarrollo que se pueda usar con una inclinación de fase a 90 grados permite una transición perfecta de la preparación de la muestra del TEM a la observación del STEM.
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Para la GUI (interfaz gráfica de usuario) operativa se emplea el “centro del SEM”, que ha sido bien recibido en la serie JSM-IT800 de microscopios electrónicos de barrido de alta resolución, lo que permite la integración total del análisis de EDS.
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Un cartucho de doble inclinación y un soporte dedicado del TEM permite una alineación más precisa a la vez que facilita la transferencia de muestra entre el TEM y el FIB.
Objetivo de ventas
50 unidades/año
URL del producto: https://www.jeol.com/products/scientific/fib/JIB-PS500i.php
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan [Japón]
Izumi Oi, presidente y director ejecutivo
(Código bursátil: 6951, primera sección de la Bolsa de Valores de Tokio)
www.jeol.com
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